德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CL

德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CL

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩模/晶圓定位

表面測量技術(shù)

納米壓印

顯微操縱

圖像處理/穩(wěn)定

產(chǎn)品參數(shù)：

型號：P-733.3CL

主動軸：X、Y、Z

集成傳感器：電容式

-20至120 伏時(shí)的開環(huán)行程：115 微米×115 微米×12 微米

行程，閉環(huán)：100 微米×100 微米×10 微米

分辨率，開環(huán)：0.2（Z向上為0.1）納米

分辨率，閉環(huán)：0.3（Z向上為0.2）納米

線性誤差（X、Y）：0.03%

線性誤差（Z）：0.03%

重復(fù)精度（X、Y）：<2納米

重復(fù)精度（Z）：<1納米

螺距（X、Y）：<±3微弧度

偏轉(zhuǎn)角（X、Y）：<±10微弧度

Z向運(yùn)動時(shí)的傾斜：<±5微弧度

剛度：1.4（Z向上為9）牛/微米

諧振頻率，空載：460（Z向上為1400）赫茲

帶120 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：340（Z向上為1060）赫茲

帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：295（Z向上為650）赫茲

運(yùn)動方向上的推/拉力：50/20牛

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CL