德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 光學實驗位移臺 線性平臺 Q-521.340

一、Q-521.340線性平臺產品特點：

21毫米寬度，10毫米高度，1納米編碼器分辨率，2納米線性平臺位移

二、Q-521.340線性平臺產品應用領域：

Q-521.340線性平臺主要應用領域為光學對準，顯微鏡，半導體技術。

三、Q-521.340線性平臺產品參數：

行程參數：

主動軸：X

行程：32毫米

精度參數：

速度，閉環：6毫米/秒

位移：2納米

俯仰角：300微弧度

偏轉角：400微弧度

線性度：3.5微米

集成傳感器：線性編碼器

傳感器分辨率：1納米

參考點開關：光學

雙向重復精度：80納米

負載參數：

負載能力，水平方向：0.3千克

負載能力，任意方向：0.06千克

導向類型：交叉滾柱軸承

驅動力：0.6牛

保持力：1.3牛

其他參數：

電機類型：壓電慣性驅動器

工作溫度：0到40攝氏度

電纜長度：1米

電機/傳感器連接器：D-sub15針（公頭）

不含電纜和連接器的質量：48克

質量（包含電纜和連接器）：135克

材料：不銹鋼

尺寸：42.2 毫米×21 毫米×10毫米

德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 光學實驗位移臺 線性平臺 Q-521.340