德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 控制器 壓電控制器 E-709.SR

一、E-709.SR控制器產(chǎn)品特點：

0.02%線性誤差，應變片式傳感器（可選壓阻式傳感器，電容式傳感器）

二、E-709.SR控制器產(chǎn)品應用領域：

E-709.SR控制器主要應用領域為共聚焦顯微鏡，3D成像，表面分析，晶圓檢驗。

三、E-709.SR控制器產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品參數(shù)：

傳感器類型：應變片傳感器

功能：用于單軸壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)的數(shù)字式控制器（.SR：OEM板）

軸：1

處理器：DSP32位浮點，150兆赫茲

控制器類型：PID，兩個陷波濾波器，傳感器線性化

采樣率，伺服控制：10千赫茲

采樣率，傳感器：10千赫茲

傳感器參數(shù)：

線性化：5階多項式

傳感器帶寬：5千赫茲

傳感器分辨率：16位

外同步：否

放大器參數(shù)：

輸出電壓：-30伏至130伏

峰值功率（<5毫秒）：10瓦

平均輸出功率（>5毫秒）：5瓦

峰值電流（<5毫秒）：100毫安

平均輸出電流（>5毫秒）：50毫安

電流限制：防短路

分辨率DAC：17位

接口參數(shù)：

通信：USB、RS-232、SPI

壓電陶瓷/傳感器連接器：D-sub9（母頭）

輸入/輸出：HDD-sub26針（母頭），1路模擬量輸入為0至10伏（可配置），1路模擬量輸出為0至10伏（可配置），1路監(jiān)控器壓電電壓為-0.3至1.3伏，1個數(shù)字輸入（LVTTL、可編程），5個數(shù)字輸出（LVTTL、3個為預定義、2個為可編程）

指令集：PIGeneralCommandSet(GCS)

用戶軟件：PIMikroMove

支持功能：波形發(fā)生器、數(shù)據(jù)記錄器、自動調(diào)零、觸發(fā)I/O

顯示器和指示燈：狀態(tài)指示燈，溢流指示燈

其他參數(shù)：

工作溫度范圍：5至50攝氏度（40攝氏度以上，功率下降）

尺寸：160毫米×96毫米×33毫米

質量：260克/470克

工作電壓：24伏直流（適用于.SRG含在發(fā)貨范圍內(nèi)：外部電源）

功耗：24瓦

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 控制器 壓電控制器 E-709.SR